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10萬級無塵車間凈化工程標準規范

時間:2022-08-28 10:13:35 點擊:18323次

前言:

在每單位空氣體積的潔凈空間進行分類的水平標準,最大濃度限值大于或等于要考慮的顆粒大小。凈化工程指控制產品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。此環境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程無塵室凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理,可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。潔凈室對于凈化空調系統的加濕問題而言,常用的加濕方法有很多種,有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕,這些加濕方法屬等焓加濕過程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極(電熱)加濕是向空調送風中噴蒸汽,其加濕方法屬等溫加濕過程。使用空方法和靜態方法進行測試。

100,000級無塵車間:指空氣潔凈度為100,000的潔凈車間.空氣潔凈度是指在潔凈的環境中,空氣中懸浮顆粒的數量。當粉塵濃度較高時,空氣潔凈度一般較低,而粉塵濃度較低時,空氣潔凈度較高。它是根據每立方米空氣的最大允許顆粒數來確定其空氣潔凈度水平。

本文詳細闡述了建造10萬級潔凈車間的標準規范,并結合現行規范標準,總結了潔凈度車間的特點,潔凈度達到10萬級。

從通風頻率的角度來看:

100,000級的要求是每小時18-25次。充分通風后,空氣凈化時間不超過40分鐘。

10000級要求每小時通風25/30,完全通風后空氣凈化不超過30分鐘。

1000級每小時需要40-60次換氣,完全通風后的空氣凈化時間不超過20分鐘。

包括10萬級凈化車間在內的各級潔凈度標準如下:

iso 14644根據懸浮粒子濃度的唯一指標,將潔凈室及相關控制環境中空氣的潔凈度分類,只考慮累積分布在0.1微米至5.0微米之間的粒子群。

根據粒徑可分為常規顆粒、超微結構顆粒和宏觀顆粒。

空氣潔凈度等級標準:ISO14644-1

空氣潔凈度等級

大于或等于標準粒徑的顆粒最大濃度限值

0.1 um

0.2 um

0.3 um

0.5um

1um

5 um

ISO Class 1

10

2

ISO Class 2

100

24

10

4

ISO Class 3

1 000

237

102

35

8

ISO Class 4

10 000

2 370

1 020

352

83

ISO Class 5

100 000

23 700

10 200

3 520

832

29

ISO Class 6

1 000 000

237 000

102 000

35 200

8 320

293

ISO Class 7

352 000

83 200

2 930

ISO Class 8

3 520 000

832 000

29 300

ISO Class 9

35 200 000

8 320 000

293 000

注意:由于測量過程中所涉及的不確定性,需要確定濃度不超過三個有效濃度數字的水平。

空氣潔凈度分級標準:GB/T 16292-1996

粒徑、數值潔凈度級別

最大允許灰塵/立方米

微生物最大允許數

0.

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